真空爐真空系統(tǒng)如何操作呢?大家在操作該設(shè)備之前可以先看下如下分享,相信對(duì)大家操作真空爐真空系統(tǒng)是有幫助的。
1、羅茨泵啟動(dòng)
打開(kāi)前級(jí)閥,關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥,用按鈕啟動(dòng)機(jī)械泵,當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測(cè)量的真空度高于羅茨泵入口真空度時(shí),比如小于2kPa,啟動(dòng)羅茨泵。
2、預(yù)熱擴(kuò)散泵
主閥和預(yù)抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài),前級(jí)泵機(jī)組對(duì)擴(kuò)散泵抽真空,當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測(cè)量擴(kuò)散泵前級(jí)真空度高于規(guī)定值時(shí),比如小于7Pa,啟動(dòng)擴(kuò)散泵加熱器。
3、預(yù)抽爐內(nèi)真空
先關(guān)前級(jí)閥,并停止羅茨泵,稍后打開(kāi)預(yù)抽閥對(duì)爐內(nèi)抽真空。爐內(nèi)真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時(shí),再啟動(dòng)羅茨泵。前級(jí)泵機(jī)組對(duì)爐內(nèi)抽氣,使之達(dá)到預(yù)抽真空度。
4、抽高真空
爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于規(guī)定值,且擴(kuò)散泵加熱時(shí)間到,先關(guān)預(yù)抽閥,然后開(kāi)高真空閥,對(duì)爐內(nèi)抽高真空,直到高真空規(guī)管測(cè)得的爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于工作真空度,才進(jìn)行下一步操作。真空系統(tǒng)的關(guān)閉步驟相對(duì)比較簡(jiǎn)單,當(dāng)爐子溫度減低到可關(guān)真空系統(tǒng)的要求時(shí),關(guān)閉主閥,接著關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器,但前級(jí)閥不能關(guān)閉,前級(jí)泵機(jī)組仍然工作,直到擴(kuò)散泵加熱器冷卻時(shí)間到,才依次關(guān)閉前級(jí)閥和前級(jí)泵機(jī)組。
以上即是真空爐真空系統(tǒng)的操作方法,大家選購(gòu)好設(shè)備之后可以先了解一下操作方法,方便后期更快的投入使用。
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